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高纯工业气体系统

  • 分为:业务范围
  • 上架时期:2020-04-22 10:18:24
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内容提要:
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详细情况

  高纯气配管技艺是高纯气味气路体系的重要的组合🤪成区域,是如何将合符的要求的高ꦗ纯气味准时到达用气点仍长期保持安全性能达标的关健技艺;实际上高纯气配管技艺涉及到体系的正确性制定、不锈钢管件及邮件附件的考虑、施工过程安装使用和 试验报告測試等内容。

  常见气体的种类电子行业中常见气体的分类:普通气体,也称大宗气体(Bulk gas ):氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(A2)等。特种气体(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等特殊气体的种类一般可分为腐蚀性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等,一般常用的半导体气体分类如下:
  (一)、腐蚀性 / 毒性:HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等
  (二)、可燃性:H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等
  (三)、助燃性:O2、Cl2、N2O、NF3…等
  (四)、惰性:N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等半导体气体很多是对人体有害。
  🅰特别是其中有些气体如SiH4的自燃性,只要🉐一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反应,开始燃烧;还有AsH3的剧毒性,任何些微的泄漏都可能造成人员生命的危害,也就是因为这些显而易见的危险,所以对于系统设计安全性的要求就特别高。 

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